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提出了利用一种特殊设计的LED多光束环状分布照明光源,与显微镜组成超光滑表面元件缺陷检测的光学显微散射成像系统,获取适合于数字图像二值化处理的暗背景上的亮瑕疵图像.利用X、Y,两方向的精密移导系统对表面实施子孔径图像的扫描.在原有的子孔径图像拼接边缘拓展法算法的基础上,提出一种基于特征分类的多层次图像拼接算法.该算法分为特征分类和多层次拼接两个部分:通过重叠区域内特征的提取和分类,将所有子孔径图像的重叠区域分为四类;然后针对这四类重叠区域的不同特点,有次序地进行图像拼接,最终得到全景图像.并应用二元光学制作了标准比对板,以获得瑕疵正确的数字化评价依据.实验结果证明:该系统和算法特别适合在被测表面范围较大、具有微米量级分辨率的瑕疵的数字化定量检测和评价.Anopticalmicroscopicscatteringimagingsystemwasproposedinthispaper.Itwascombinedbyringdistributionofmulti-beamLEDlightsourceandamicroscopesystem.Animageofbrightdefectsinblackbackgroundwasobtained,whichwassuitableforbinary-stateprocessingofdigitalimage.FullaperturemeasurementcouldbeobtainedbyX,Ysub-aperturescanningsystem.Amulti-cycleimagemosaicalgorithMBAsedonbothfeatureclassificationandthepreviousedge-expansionmethodwasproposed,whichwouldbedividedintofourtyposforoverlappingregionsoftheentiresub-apertureimage.Thenthemulti-cyclemosaicwasconductedaccordingtodifferentdefectfeaturesdistributionintheoverlappedregion.Therefore,Afullapertureimagecouldbeobtained.Agroupofstandardreticuleswerefabricatedbybinaryoptics.Itcouldbeusedtocalibratethescaleofthedefects.Experimentalresultsshowthatthesystemandthemosaicalgorithmforimagesofdefectsaresuitablefordetectionandevaluationofthelargeaperturefinesurface. |
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